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一、關(guān)于氬氣純化的方法:
(1)直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氬氣中的氧氣進行反應(yīng),消化掉氬氣中的氧氣,從而達到脫氧的目的,經(jīng)過分子篩吸收掉氬氣中的水份,使氬氣的含水量小于1。
(2)采用吸氣劑。在一定溫度下,吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經(jīng)吸收處理后,氬氣的純度可達到6個九,這種工藝生產(chǎn)出來的高純氣體適用于各類儀器儀表適用要求。
直接脫氧法設(shè)備投資小,采用吸氣劑設(shè)備純化純度高但投資相對較大
二、設(shè)備特點:
1、凈化劑則采用了世界先進的凈化材料。其特點有吸附深度好,吸收雜質(zhì)氣體量大的特點,純度可達99.9999%以上;
2、凈化器采用特殊結(jié)構(gòu)和裝料方法,流速設(shè)計合理,氣流分布均勻;
3、全BA級內(nèi)外精拉管管路。采用進口卡套式球閥。杜絕了氣體流經(jīng)管路的再次污染,一次安裝終身使用,需要做到零泄漏及無故障運行。
4、雙式結(jié)構(gòu),開機后一組工作,另一組再生、備用,而且RZ-YA-C系列半自動純化裝置工作和再生都自動進行,故能夠連續(xù)供氣,一臺能頂單式的兩臺使用。
5、本公司生產(chǎn)的RZ-YA-D系列全自動氬氣純化裝置功能說明:A、具有全自動功能,使用操作簡單,開、停機只需按兩個按鈕,不需扭動任何閥門,這些工作都由PLC程序自動進行;這還克服了手動和半自動機型因人為操作失誤引起的氣體不純,因此純氣質(zhì)量也更加穩(wěn)定。
B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7吋液晶觸摸屏,實時模擬顯示工作流程狀態(tài)和各種參數(shù)顯示,并隨時可以實現(xiàn)各參數(shù)的修正,方便工作人員的操作。
C、可根據(jù)用戶需要配備在線分析儀,時時在線監(jiān)測。
三、應(yīng)用領(lǐng)域:
該系列氬氣純化裝置用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導(dǎo)體制造工藝中的化學(xué)氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結(jié)等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣。
以上就是氣體純化設(shè)備廠家的詳細介紹!
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