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隨著研究我國對于半導(dǎo)體、光電信息技術(shù)的飛速經(jīng)濟(jì)發(fā)展,研發(fā)提純凈化能力水平高、耐高壓、使用可以方便、投資少、易推廣的對N2、H2、He、Ar、O2、NO氣體配制用高壓提純技術(shù)及裝置尤為具有重要。今天我們就為大家比較簡單分析介紹以下幾種高純氣體的提純技術(shù)!
氫氣、氦氣提純技術(shù)
填充兩類低溫度,精心設(shè)計的熱交換,吸附在低溫下的多孔吸附劑凈化裝置中,可以有效H2,他除去雜質(zhì),高達(dá)純度99.9999%,由于非常惡劣的條件下,操作員必須經(jīng)過嚴(yán)格的培訓(xùn)和指導(dǎo),否則容易發(fā)生意外。 2006年單位在氫氣凈化,因為具有許多隱患,例如作為脫氧劑,超過原材料的氧濃度的失敗巧合,純化處理裝置是沒有足夠的時間和其他因素的影響,氣體在低溫下分解凈化,幸好沒有造成安全。由于這種方法能夠有效地在N2,CO,CH4等除去H2,也可以擴(kuò)展到H2實施例的大規(guī)模純化,這樣的方法是一個重要的低溫法生產(chǎn)的高純度H2。
氮?dú)馓峒兗夹g(shù)
采用一種高效的脫氧反應(yīng)催化劑,利用以及脫氧處理催化劑的氧化可以還原一個特點,脫除N2中的痕量O2,脫氧在室溫下進(jìn)行,催化劑失活后通氫還原,還原環(huán)境溫度為350-450℃,其特點是有一定的水蒸汽壓力排出。然后用自己大量的N2吹洗或抽空與通氮相結(jié)合的方式將H2吹凈。經(jīng)過研究高壓條件下脫氧器脫氧,產(chǎn)品瓶的氧含量可小于0.3PPM(V/V),該凈化器的特點耐高壓,非常具有適于不同氣體的配制,脫氧方法效果更加明顯,脫氧容量大,催化劑通過使用工作壽命長,實驗室管理所用此技術(shù)發(fā)展已有生活多年,已逐步向大規(guī)模氮提純系統(tǒng)方面得到推廣,效果能夠較好。
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